淺析雙面研磨拋光機的發(fā)展趨勢

　　雙面研磨拋光機設備的發(fā)展趨勢和技術(shù)前沿：
 

　　1、向高精度、高效率方向發(fā)展：
 

　　隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，對精度、效率、質(zhì)量的要求愈來(lái)愈高，超精密加工技術(shù)就是要向加工精度的極限沖刺，應該說(shuō)，這種極限是無(wú)限的，當前的目標是向納米級進(jìn)軍，而現狀是處于亞徽米級水平。
 

　　圖中表示了超精密加工理論基礎和應用技術(shù)的發(fā)展，提出了量子技術(shù)、量子能量的利用，并將和太空技術(shù)聯(lián)系起來(lái)。
 

　　2、向大型化、微型化方向發(fā)展：
 

　　由于航天航空等技術(shù)的發(fā)展，大型光電子器件要求大型超精密加工設備，如美國研制的加工直徑為2.4~4m的大型光學(xué)器件超精密加工機床。
 

　　由于微型機械、集成電路的發(fā)展，超精密加工技術(shù)向微型化發(fā)展，如微型傳感器，微型驅
 

　　圖中是利用微細加工技術(shù)制作的微型機械及零件，其中圖a為一對帶輪，直徑為1mm，圖b為電機，其轉子直徑約為192pm，圖c為梳形執行元件，圖d為一個(gè)齒輪，直徑為124pm。
 

　　3、向加工檢測一體化發(fā)展：
 

　　由于超精密加工的精度很高，必須發(fā)展相應的檢測技術(shù)才能適應其要求;同時(shí)，采用加工和檢測獨立進(jìn)行的方法可能由于安裝等誤差而不能實(shí)現，因此，要采用在位檢測方法，使加工檢測一體化。
 

　　4、在線(xiàn)檢測與誤差補償：
 

　　超精密加工的精度很高、影響因素多且復雜，進(jìn)行在線(xiàn)檢測、工況監控以確保加工質(zhì)量及其穩定性是十分必要的。由于超精密加工的精度很高，加工設備本身的精度有時(shí)很難滿(mǎn)足要求，就要采用在線(xiàn)檢測和誤差補償的方法來(lái)提高精度，保證加工質(zhì)量的要求。
 

　　5、新型超精密加工方法的機理：
 

　　加工機理的研究是新技術(shù)的生長(cháng)點(diǎn)，超精密加工機理涉及微觀(guān)世界和物質(zhì)內部結構，所利用的能源包括機、光，電、聲、熱、化、磁、原子等，十分廣泛。不僅可以采用分離去除加工，而且可以采用分層堆積加工方法;既可采取單獨加工方法，更可采用復合加工方法。加工機理的研究往往具有突被性。
 

　　6、新材料的研究：
 

　　新材料包括新的工具材料(切削、磨削)和被加工材料。精密加工和超精密加工的被加工材料對其加工質(zhì)量的影響極大，其化學(xué)萬(wàn)分、力學(xué)機械性能均有嚴格要求，還需要研究。
 

　　當前，精密加工和超精密加工在我國急需要研究的是實(shí)用化。將一些成熟或比較成熟的精密加工和超精密加工技術(shù)推廣到實(shí)際中云，以提高加工技術(shù)的水平，使生產(chǎn)的機械產(chǎn)品質(zhì)量更好、生產(chǎn)率更高。